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    一句話解釋MEMS傳感器,有哪幾類,優勢特點

    一句話解釋MEMS傳感器,有哪幾類,優勢特點

    作者:胡工????來源:俊德科技????發布時間:2020-03-06 19:59:11????瀏覽量:

      一句話解釋MEMS傳感器


           那就是把傳統的傳感器封裝到芯片里面,方便批量化生產和高度集成化
     
      科學的來講,微機電系統(Micro-ElectroMechanicalSystem)是指尺寸在幾毫米乃至更小的傳感器裝置,其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。簡單理解,MEMS就是將傳統傳感器的機械部件微型化后,通過三維堆疊技術,例如三維硅穿孔TSV等技術把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根據不同的應用場合采用特殊定制的封裝形式,最終切割組裝而成的硅基傳感器。受益于普通傳感器無法企及的IC硅片加工批量化生產帶來的成本優勢,MEMS同時又具備普通傳感器無法具備的微型化和高集成度。
     

      MEMS傳感器特點

     
      MEMS是指可批量制作的,將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統。
     
      用MEMS工藝制造的傳感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生產等特點。同時,MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數,將其轉換成方便度量的信號;而且能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷,因此形象地被稱為智能傳感器。
     
      1980年,第一個MEMS傳感器推出,重量、濕度、加速度計、壓力、麥克風等MEMS傳感器不斷出現,其種類繁多,一般分為MEMS物理傳感器、化學傳感器、生物傳感器三大類。(相關閱讀可以查看YXC揚興官網《MEMS應用領域》)
     

      MEMS傳感器優點

     
      因為傳統的基于機電工藝制成的傳感器和執行器在體積、價格和產能上不能適應工業、消費電子等領域的需求,MEMS開始發展起來。
     
      與傳統的傳感器相比,MEMS傳感器在尺寸、性能、智能化等方面都具有明顯的優勢。例如,在陀螺儀及麥克風方面,MEMS技術的應用為之技術升級帶來較大跨越。
     
      比較1:陀螺儀。傳統的光纖陀螺儀,體積雖然越來越小,但對于放入一些電子產品而言是不可能完成的。而且為了保證性能,這樣一個陀螺儀的產量之低和價格之高也是可想而知。
     
      而我們現在智能手機上采用的陀螺儀則是MEMS陀螺儀,例如上圖。其體積小、功耗低、易于數字化和智能化,特別是成本低,易于批量生產,非常適合手機、汽車牽引控制系統、醫療器材這些需要大規模生產的設備。
     
      比較2:麥克風。傳統麥克風的七八種機械配件可全部集成在一塊很小的MEMS傳感器芯片上。由上圖可見,MEMS麥克風置于手機中,體積非常小,重量也比較輕。
     
      由于是芯片制造,一致性好、功耗低,更易于批量生產。MEMS傳感器的出現滿足特定產品小體積、高性能的要求。
     

           MEMS傳感器分類圖

    是不是覺得有很多?其實應該還有相當多,只要有需求,我們就會想方設法將傳感器集成在芯片內,這是科學的發展進步,也是必然

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